净化工程要控制温湿度具体措施有哪些？

       洁净室的温湿度主要是根据加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，首选应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，达到定的温湿度等。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以有±0.1度的恒温，同时要求湿度值般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。（净化工程）

 

湿度过高会产生很多问题，相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。那么净化工程要控制温湿度具体有什么措施？下面由科锐特净化科技有限公司列举的几个控制湿度的方法。（净化工程）

 

对于大部分洁净空间，为了防止外界污染 侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持般应符合以下原则：

1. 洁净度别高的空间的压力要高于相邻的洁净度别低的空间的压力。

2. 相通洁净室工程之间的门要4开向洁净度别高的房间。

3. 洁净空间的上海风淋室压力要高于非洁净空间的压力。

 

       压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量 通过洁净室的各种缝隙时的阻力。（净化工层）

对于乱流洁净室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这概念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下要求：

 

    1.送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角度更大。

    2.吹过水平面的气流速度（例如侧送时回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，而造成再污染，这速度般不宜大干0.2m/s。

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